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高頻振盪器發生的高頻電流,經過耦合系統連接在位於等離子體發生管上端,銅製內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道,環繞等離子體起穩定等離子體...
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