光刻機是哪個國家生產的

品牌型號：天極星H:

光刻機是荷蘭生產的。光刻機又名掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是製造芯片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到硅片上。

刻機的品牌衆多，根據採用不同技術路線的可以歸納成如下幾類：高端的投影式光刻機可分爲步進投影和掃描投影光刻機兩種，分辨率通常七納米至幾微米之間，高端光刻機號稱世界上最精密的儀器，世界上已有1.2億美金一臺的光刻機。高端光刻機堪稱現代光學工業之花，其製造難度之大，全世界只有少數幾家公司能夠製造。國外品牌主要以荷蘭ASML，日本Nikon和日本Canon三大品牌爲主。

光刻機的主要性能指標有：支持基片的尺寸範圍，分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統、光刻膠和工藝等各方面的限制。對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。曝光方式分爲接觸接近式、投影式和直寫式。曝光光源波長分爲紫外、深紫外和極紫外區域，光源有汞燈，準分子激光器等。